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入射到基底表面上的氣相原子在表面上形成吸附原子后，它便失去了沿表面法線方向的動(dòng)能，只具有與表面水平方向相平行運(yùn)動(dòng)的動(dòng)能。依靠這種動(dòng)能，吸附原子可以在表面上作不同方向的表面擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)。在表面擴(kuò)散過程中，單個(gè)吸附原子間相互碰撞形成原子對(duì)之后才能產(chǎn)生凝結(jié)。因此凝結(jié)就是指吸附原子結(jié)合成原子對(duì)及其以后的過程。所以吸附原子的表面擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)是形成凝結(jié)的必要條件。表面擴(kuò)散能比吸附能小得多，大約是吸附能的1/6~1/2。

吸附原子在一個(gè)吸附位置上的停留時(shí)間稱為平均表面擴(kuò)散時(shí)間。

吸附原子在表面停留時(shí)間經(jīng)過擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)所移動(dòng)的距離(從起始點(diǎn)到終點(diǎn)的間隔)稱為平均表面擴(kuò)散距離。