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    雖然介質薄膜的空位、位錯、裂縫等缺陷以及氧化物、化學計量比偏離、雜質等缺陷均多于相應的塊狀材料，但介質薄膜的介電機理、損耗機理與擊穿機理等仍可用塊狀介質材料的相應機理表述。
    介質薄膜的極化
    當垂直于介質薄膜加一電場時，其表面就有感生束縛電荷出現，稱為介質薄膜的極化，其實質就是介質薄膜內的原子核、電子云、離子等在電場作用下發生定向移動和某些具有偶極矩的分子在電場作用下定向排列。常用極化強度尸來表示束縛電荷的多少。